ご購入頂いたクライオポンプ製品の修理、メンテナンスに対応しております。その他、現在お使いの製品についてはお問い合わせ下さい。
お知らせ(掲載日 2018年5月18日)
サービスグループでは、クライオポンプ製造メーカーである住友精密工業株式会社が、2018年9月末日を以ってサポート終了されるのを機に、同年10月1日よりクライオポンプのメンテナンスを継承致します。 |
主なメンテナンス作業の内容
各種消耗部品交換
シールリング交換
Oリング交換
ベアリング交換
バルブ交換
真空パネル再生
真空パネル化学洗浄(除害洗浄)
活性炭張替え
輻射熱シールド黒化表面処理
真空ベーキング
主な試験内容
アルゴンスループット試験
真空リーク検査
冷媒ヘリウムリーク検査
メンテナンス体制
設備
冷凍機専用熱負荷試験装置
アルゴンスループット試験装置
ヘリウムリークディテクター
真空ベーキング炉
モータートルク測定器
ヘリウム流量測定装置
クライオポンプ自動試験装置
拠点