特長
オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。
納入範囲(標準構成)
CP-250LPクライオポンプ(ISO 250)
ヘリウム圧縮機(Zephyr®, HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H)
3Mフレキシブルガスホース
3Mコールドヘッドケーブル
ガスホース接続用レンチキット
標準仕様
項目 | MARATHON® CP-250LP CRYOPUMP |
窒素(L/s) | 3,000 |
水(L/s) | 6,300 |
アルゴン(L/s) | 2,500 |
水素(L/s) | 5,000 |
アルゴンスループット (Torr - L/s) |
11.0 |
アルゴン排気容量(Std L) | 1,600 |
水素排気容量(Std L) | 30 |
クロスオーバー(Torr - L) | 300 |
クールダウンタイム(分) | 110 |
ポンプユニット重量(kg) | 20 |
HxL寸法(mm) | 181 x 591 |
メンテナンスサイクル(時間) | 13,000 |