薬液の特性を考慮した管理手法の構築技術と薬液の精製技術
化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成
廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成
半導体・液晶パネル業界において、フォトリソグラフィプロセスによるデバイス製造で用いられる薬液を管理運用(Chemical Management System)する事により、デバイス製造プロセスの安定化と共に、化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成しています。
製品ラインナップ
| 現像液の品質安定を確保 | DDS-21(S) 現像液希釈供給装置 |
| 現像液の2つの成分濃度をリアルタイムで自動管理 | DDS-11 現像液濃度管理装置 |
| 現像液の成分濃度を一定に再生・供給 | DMS-Ⅱ 現像液回収再生装置 |
| 現像液の希釈と、現像液の成分濃度管理機能を一体化 | DDS-32S 現像液希釈・濃度管理装置 |
| 現像液の再生効率を更に向上させ、 再生現像液の品質安定も可能 |
DPF 現像液精密濾過装置 |
| 剥離液の液ライフを延ばし、使用量、廃棄量を削減 | RMS 剥離液濃度管理装置 |
