高度なエンジニアリングと熟練した製造技術による高品質で多種多様な基板搬送ツール
半導体、MEMS、LED、フラットパネル、ディスク、バイオ、フォトリソグラフィー、太陽電池などの各業界に、ご用途とプロセスに合った製品をご提供しています。多種多様なサイズ・材質の基板は、その特性やデバイスの機能により、独自の搬送手段が求められます。高品質で信頼性のある様々なハンドリング方法をご提案します。
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