ウエハカセット／ウエハートレー | 半導体製造用各種ハンドリングツール・装置| ナガセテクノエンジニアリング株式会社

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樹脂製

シングルウエハシッパー

eCT型コインスタイルシングルウエハシッパー
（ウエハートレー）対応ウエハサイズ：
1, 2, 3, 4, 5, 6（inch）概要を見る PDF

eCT型クラムシェル／コインスタックシングルウエハシッパー
（ウエハートレー）対応ウエハサイズ：
6, 8, 12, 450（inch）概要を見る PDF

プロセス用ウエハケース

ePB型プロセス用カセット対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 5, 6, 8（inch）概要を見る PDF

ePB型 PFA製プロセス用カセット対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 6, 8（inch）概要を見る PDF

ePBX型保管用ボックス対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 5, 6, 8（inch）概要を見る PDF

搬送用ウエハケース

ePRO型ウエハ出荷容器対応ウエハサイズ：
4, 5, 6, 8（inch）概要を見る PDF

eMS型ウエハ出荷容器対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 6（inch）概要を見る PDF

eV型真空成形ウエハ出荷容器対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 6（inch）概要を見る PDF

eJR型ウエハジャー対応ウエハサイズ：
4, 5, 6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eIL型ウエハインサート対応ウエハサイズ：
4, 5, 6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eLX型ウエハ容器対応ウエハサイズ：
6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eLX型ウエハケース用リングセパレータ対応ウエハサイズ：
6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eLC型ウエハ容器対応ウエハサイズ：
5, 6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eFF型プラスチック製フレックスフレーム対応ウエハサイズ：
6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eMF型メタル製フレックスフレーム対応ウエハサイズ：
6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eFS型シングルケースフレックスフレーム付きウエハ出荷容器対応ウエハサイズ：
6, 8, 12, 18（inch）概要を見る PDF

eFS型マルチケースフレックスフレーム付きウエハ出荷容器対応ウエハサイズ：
6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

eFSC型キャニスターフレックスフレーム付きウエハ出荷容器対応ウエハサイズ：
6, 8, 12（inch）概要を見る PDF

メタル製

高温プロセス用ウエハケース

AMC型耐熱250℃（Open End Wall）ウエハカセット（メタル製）対応ウエハサイズ：
3, 4, 6, 8（inch）概要を見る PDF

AMC型耐熱250℃（Closed End Wall）ウエハカセット（メタル製）対応ウエハサイズ：
4, 6, 8（inch）概要を見る PDF

AMC型耐熱350℃ ウエハカセット（メタル製）対応ウエハサイズ：
3, 4, 6, 8（inch）概要を見る PDF

MCF型耐熱350℃ ウエハカセット（メタル製）対応ウエハサイズ：
6, 8（inch）概要を見る PDF

SSC型　耐熱550℃ ウエハカセット（メタル製）対応ウエハサイズ：
3, 4, 6, 8（inch）概要を見る PDF

300mm用　耐熱350℃ ウエハカセット（メタル製）対応ウエハサイズ：
12（inch）概要を見る

300mm用　耐熱550℃ ウエハカセット（メタル製）対応ウエハサイズ：
12（inch）概要を見る PDF

アルミ製防湿・帯電防止袋

アルミ製防湿・帯電防止袋概要を見る PDF

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概要	プロセス用25スロット樹脂カセットです。 SEMI規格に準拠して作られているため、ほとんどの装置に対応可能です。
特長	・SEMI規格準拠・材質：青色ポリプロピレン製（緑、赤、黄色でも製作可）黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）黒色静電気対策PEEK製（表面抵抗値≦10e9）・6、8インチ用は、バイピッチ（13スロット）仕様あり ※アクセサリ（別売り）：カセットハンドル

概要	プロセス用25スロットPFA製カセットです。洗浄工程に適しており耐薬品性に優れています。 SEMI規格に準拠して作られているため、ほとんどの装置に対応可能です。
特長	・SEMI規格準拠・材質：PFA製・1個～購入可 ※アクセサリ（別売り）：カセットハンドル

概要	ePB型プロセス用カセットの収納保管ボックスです。プロセス用カセットおよびウエハをパーティクルから守り、クリーンかつ安全に保管できます。
特長	・重ね積み可。・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）黒色静電気対策ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e10）ポリプロピレン製（青、緑、赤、黄色でも製作可）・4,5,6インチ用は、カセット2個用ボックスあり。

概要	蓋、カセット、ウエハケースの3ピース構成の出荷用シッピングケースです。蓋内側のクッションでウエハエッジを保持し、ウエハにダメージを与えることなく安全に搬送できます。
特長	・25枚用。・超クリーンなポリプロピレン(PP)製。・ラインアップ：ePRO、ePROⅡ、ePROⅢ の3種

概要	上蓋、カセット、底蓋の3ピース構成のコンパクトな出荷用シッピングケースです。上下蓋のクッションでウエハエッジを保持し、ウエハにダメージを与えることなく安全に搬送できます。自動装置とインターフェースするように設計されています。
特長	・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）ナチュラルポリプロピレン製・ラインアップ 1～3インチ：25枚用 4インチ：10枚用または 25枚用 6インチ：10枚用

概要	蓋とベースの2ピース構成の出荷用シッピングケースです。コンパクトで軽く経済的なケースです。
特長	・25枚用・真空成形タイプ・材質：透明ポリスチレン製

概要	ウエハを簡単にロード、アンロードできるウエハジャーです。衝撃耐性に優れ、スナップオンの蓋によりウエハを安全に搬送します。別売りのウエハインサート、ウエハクッションが必要です。収納枚数などご相談下さい。最適な機種をご提案いたします。
特長	・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）ナチュラルポリプロピレン製・各サイズ、様々なケース高さのラインアップあり

概要	ウエハ間に挟む緩衝材です。ウエハジャーeJR型に使用します。
特長	・ラインアップ 0.16mm厚白色静電気対策Tyvek®製（表面抵抗値10e6～10e11） 0.07mm厚黒色導電性ポリスチレン製（表面抵抗値10e4～10e11） 0.13mm厚黒色導電性ポリスチレン製（表面抵抗値10e4～10e11） *12インチ用黒色導電性ポリスチレン製は、0.16mm厚のみ

概要	耐衝撃性があり、ウエハ表面の保護するケースです。パーティクルの発生を最小限に抑えるデザイン。リングセパレータ（別売り）を使用し、繊細なウエハエッジに圧をかけず横方向の動きを最小限に抑えます。少数枚を収納の場合は、eFORM™プラットホームを入れ、底上げすることができます。
特長	・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）・ラインアップ 8インチ：44mm高または 69mm高 12インチ：44mm高または 71mm高 ※アクセサリ（別売り）：リングセパレータ、eFORM™プラットホーム

概要	ウエハの外周部のみに接触するリング型セパレータです。ウエハ表面を接触させたくない場合に使用します。 eLX型ウエハ容器に使用可。
特長	・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）・ラインアップ 6インチ：1.75mm厚 8インチ：1.75mm厚 12インチ：1.75mm厚または 3.75mm厚

概要	ウエハをより安全に搬送できるウエハケースです。蓋はスナップロックで取り外しが簡単。側面の凹みによってウエハを簡単にロード、アンロードできます。ウェハローダーと互換性あり。
特長	・重ね積み可能。・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）ナチュラルポリプロピレン製・ラインアップ 5インチ：28mm高 6インチ：28mm高 8インチ：28mm高、30mm高、38mm高 12インチ：18mm高または 21mm高

概要	コインスタイル型1枚用のウエハ出荷容器です。導電性ポリプロピレン製のラインアップあり。
特長	・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）ナチュラルポリプロピレン製

概要	1枚用のウエハ出荷容器です。射出成形タイプで、6,8インチ用はクラムシェルスタイル、12,18インチ用はコインスタックスタイルです。静電気対策材料製のラインアップあり。
特長	・ラインアップクラムシェル(6,8インチ)：透明ポリカーボネイト製黒色導電性ポリカーボネイト製（表面抵抗値10e2～10e6）コインスタック(12,18インチ)：ナチュラルポリプロピレン製黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）

概要	6,8,12インチウエハ用フレックスフレームです。金属フレックスフレームの代替として使用可能な低価格なプラスチック製。 1回きりの使い棄てタイプです。
特長	・材質： PPS製 SAN製・サイズ詳細はお問合せ下さい。

概要	6,8,12インチウエハ用ステンレス製フレックスフレームです。
特長	・材質：SUS420J2 ・硬度：HRC50～55 ・サイズ詳細はお問合せ下さい。

概要	フレックスフレーム付き6,8,12,18インチウエハ用のシングルケースです。
特長	・材質：黒色導電性ポリスチレン製　（表面抵抗値10e4～10e11）帯電防止ポリスチレン製　（表面抵抗値10e9～10e11）透明ポリスチレン製・ラインアップクラムシェルタイプスタックトレイタイプ・サイズ詳細はお問合せ下さい。

概要	半導体製造用に使用される従来型のメタルカセットです。 CVD及びエッチング工程用のウエハトラック、フォトレジストベークシステム及びロボットロードシステムに使用される殆どのOEM金属製カセットの代わりに使えます。
特長	・アルミニウム製・エンドウォールのないオープン構造・表面処理ラインアップ（4種）硬質透明陽極処理（標準）硬質黒色陽極処理無電解ニッケル PFAコーティング・クリーンルームクラス1対応

概要	フレックスフレーム付き6,8,12,18インチウエハ用のシッピングケースです。複数枚用。ウエハを垂直に収納し安全に搬送できます。
特長	・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）ナチュラルポリプロピレン製・ラインアップ 6インチ：25枚用 8インチ：25枚用 12インチ：13枚用・サイズ詳細はお問合せ下さい

概要	フレックスフレーム付き6,8,12インチウエハの出荷容器シッピングケースです。複数枚用。ウエハを水平に収納するキャニスタータイプ。
特長	・材質：黒色導電性ポリプロピレン製（表面抵抗値10e4～10e5）・サイズ詳細はお問合せ下さい。

概要	ウエハサポート部もアルミニウム製の高温用途用カセットです。標準AMCシリーズ（Open End Wall）と同形状です。アルミニウム製のウエハサポートはカセットの膨張・収縮によるウエハへの傷を防ぎます。
特長	・アルミニウム製・耐熱温度：350℃ ・エンドウォールのないオープン構造・表面処理ラインアップ（4種）硬質透明陽極処理（標準）硬質黒色陽極処理無電解ニッケル PFAコーティング・クリーンルームクラス1対応

概要	標準プラスチック製カセットと同形状のメタルカセットです。プラスチックカセットの代替として使用可能です。
特長	・アルミニウム製・耐熱温度：350℃ ・表面処理ラインアップ（2種）無電解ニッケル研磨アルミニウム（真空ベントネジ仕様）・クリーンルームクラス1対応

概要	高温ベーク、超音波洗浄などの特殊工程用に適した全て溶接止めの316SST電解研磨ステンレス製カセットです。 316SSTは、302SSTや304SSTより耐腐食性に優れた材質です。外観寸法はSEMI規格のプラスチック製カセットに類似しています。
特長	・ステンレス製・耐熱温度：550℃ ・クリーンルームクラス1対応

概要	SEMIオートメーション規格準拠、軽量（FOUP以下）かつ高温処理の熱ストレスにも長期使用に耐えられるカセットです。全溶接アルミニウムT6061製構造で、長期間にわたり温度変化にも耐える寸法安定性を誇ります。搬送時のウエハ落下防止用ウエハ保持ロックバーを装備しています。
特長	・アルミニウム製・耐熱温度：350℃ ・重量：3.2kg ・キネマティックカップリングポジショナ、インフォパット付き・表面処理：硬質透明陽極処理・クリーンルームクラス1対応

概要	最大550℃耐熱の全溶接ステンレス316SST製カセットです。高耐久性に優れ、外形寸法は、アルミニウム製MC12-25HC1と同じです。
特長	・ステンレス製・耐熱温度：550℃ ・重量：8.6kg ・キネマティックカップリングポジショナ、インフォパット付き・クリーンルームクラス1対応

概要	基板やフォトマスクの洗浄用途で使用可能な耐薬液及び耐摩耗性に優れたPTFE製カセットです。ご要望の基板サイズ・形状・スロット数で特注製作致します。着脱可能なPTFE製ハンドルも製作致します。
特長	・PTFE製・特注製作品・詳細はお問合せ下さい。

概要	フォトマスクの洗浄用途で使用可能な耐薬液及び耐摩耗性に優れたPTFE製カセットです。ご要望の基板サイズ・形状・スロット数で特注製作致します。着脱可能なPTFE製ハンドルも製作致します。
特長	・PTFE製・特注製作品・様々な設計のご要望にお応えします・詳細はお問合せ下さい。

半導体製造用各種ハンドリングツール・装置 ウエハカセット／ウエハートレー

樹脂製

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アルミ製 防湿・帯電防止袋

プロセス用カセット

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ウエハ出荷容器

ウエハ出荷容器

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ウエハジャー

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ウエハ容器

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ウエハ容器

シングルウエハシッパー（ウエハートレー）

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プラスチック製フレックスフレーム

メタル製フレックスフレーム

フレックスフレーム付きウエハ出荷容器

フレックスフレーム付きウエハ出荷容器

フレックスフレーム付きウエハ出荷容器

ウエハカセット（メタル製）

ウエハカセット（メタル製）

ウエハカセット（メタル製）

ウエハカセット（メタル製）

ウエハカセット（メタル製）

ウエハカセット（メタル製）

ウエハカセット（メタル製）

ウエハカセット（テフロン製）

フォトマスククリーニング用カセット（テフロン製）

アルミ製 防湿・帯電防止袋

半導体製造用各種ハンドリングツール・装置ウエハカセット／ウエハートレー

アルミ製防湿・帯電防止袋

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