ウエハリフター | 半導体製造用各種ハンドリングツール・装置| ナガセテクノエンジニアリング株式会社

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ウエハを安全にリフトアップ

HL型枚葉式手動ウエハリフター対応ウエハサイズ：
3, 4, 6, 8（inch）概要を見る PDF 動画

AETW型自動ウエハエスカレーター対応ウエハサイズ：
6, 8（inch）概要を見る PDF 動画

ETAS1型 ETAS1型手動ウエハエスカレーター対応ウエハサイズ：
4, 5, 6, 8（inch）概要を見る PDF 動画

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概要	ウエハの検査、抜取・入替に最適な手動の枚葉式ウエハプレゼンタです。Ｖ溝形状のリフト部はウエハのエッジのみを保持し、隣接するウエハに接触せずにウエハを持ち上げます。コンパクトな卓上タイプ。ほとんどのSEMI規格のウエハおよびカセットに対応します。
特長	・省スペース（卓上型）・クリーンルームクラス10対応・注文時にはカセット型式をご指定下さい。

概要	自動でオリフラ・ノッチを整列したのち、IDが読み取りやすいようウエハを自動でリフトアップするエスカレーターです。操作スティックでウエハの傾斜角度の調整が可能です。コンパクトな卓上タイプ。
特長	・省スペース（卓上型）・クリーンルームクラス1対応・注文時にはカセット型式をご指定下さい。

概要	カセットを本体にセットすると、ウエハがIDを読み取りやすい25度の角度でリフトアップします。
特長	・手動型・静電気対策品・クリーンルームクラス10対応・注文時にはカセット型式をご指定下さい。