ウエハ外縁ピック | 半導体製造用各種ハンドリングツール・装置| ナガセテクノエンジニアリング株式会社

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ウエハエッジ搬送ツール

MCP2型メカニカルエッジピック対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 5, 6, 8（inch）概要を見る PDF 動画

MCP2-S型メカニカルエッジピック対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 5, 6, 8（inch）概要を見る PDF 動画

MCP型メカニカルエッジピック対応ウエハサイズ：
12（inch）概要を見る PDF 動画

ODP型メカニカル3点ピック対応ウエハサイズ：
2, 3, 4, 5, 6, 8, 12（inch）概要を見る PDF 動画

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概要	常時閉型（一定圧）でウエハのエッジ部を保持するウエハピックです。ウエハ保持部はウエハに傷やアウトガスを残さないようふっ素樹脂I-ringを装着され、最小限の接触で搬送します。
特長	・常時閉型・静電気対策品・クリーンルームクラス10対応

概要	常時閉型（一定圧）でウエハのエッジ部を保持するウエハピックです。ウエハを平面やシングルケースからピックアップできるナイフエッジ・ヘラ状グリッパ仕様。ウエハ保持部はウエハに傷やアウトガスを残さないようふっ素樹脂I-ringを装着され、最小限の接触で搬送します。
特長	・常時閉型・ナイフエッジ仕様・静電気対策品・クリーンルームクラス10対応

概要	常時閉型（一定圧）でウエハのエッジ部を保持する12インチ用ウエハピックです。ウエハ保持部はウエハに傷やアウトガスを残さないようふっ素樹脂I-ringを装着され、最小限の接触で搬送します。
特長	・常時閉型・12インチ用・静電気対策品・クリーンルームクラス10対応

概要	装置セッティングや枚葉エッチングなどに適した3点保持ウエハ搬送用メカニカルピックです。 V溝グリッパにより基板エッジ部のみを確実に保持し、裏面・表面には接触しません。
特長	・常時閉型・PTFE製グリッパー・静電気対策品・耐薬品性・クリーンルームクラス10対応