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| 概要 | コンパクトな卓上型ソーターです。 ウエハの移載、ソート、分割、ピッチ変更、その他特殊プログラムが可能。 タッチスクリーン操作で、登録したレシピモード、手動モードの選択が可能。 エンドエフェクタにはウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチを搭載。 100mm、150mm、200mmの何れかに対応します。 MEMS、TSV、Taikoウエハなど、表裏面とも接触できないウエハの端面除外領域（外周端）を掴むことができる特殊エンドエフェクターもオプションでご用意可能です。 詳しくはお問合せ下さい。 |
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| 特長 |
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| 概要 |
300mmウエハ用のシンプルなソーターです。 2つのSEMI準拠のFOUP, FOSB、およびメタルカセット間でウエハを移載。タッチスクリーン操作で、登録したレシピモード、手動モードの選択が可能。 エンドエフェクタに搭載されたウエハマッピングセンサでカセットをスキャンしウエハを検出して、安全に正確にウエハを移載します。 |
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| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） |
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| 12 |
| 概要 | カセット間で安全にウエハを一括で移載します。 耐薬品性、静電気対策型でウェットエリアを含むあらゆる用途で使用可能です。 |
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| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
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| 3 | お問い合わせください |
| 4 | お問い合わせください |
| 5 | お問い合わせください |
| 6 | HWT-6 |
| 8 | HWT-8 |
| 概要 | カセット間で安全にウエハを一括で移載します。 カセット位置センサー付でカセットが正確に位置決めされると作動し、安全確実にウエハを移載します。 |
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| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
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| 3 | お問い合わせください |
| 4 | お問い合わせください |
| 6 | AHWT-6 |
| 8 | AHWT-8 |
| 概要 | カセット間でウエハを安全に一括移載します。 カセットからウエハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウエハ端部の損傷を防ぎます。 薄ウエハ､脆弱な基板(GaAs) に最適です。 既にウエハの入ったカセットへのロード動作等の誤操作防止センサ付。 |
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| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） |
|---|
| 3, 4, 6, 8 |
| 概要 | カセット間でウエハを安全に一括移載します。 カセットからウエハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウエハ端部の損傷を防ぎます。 ウエハマッピングにより、ウエハの交差、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、緊急停止ボタン付。 |
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| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
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| 12 | LCT1AS12 |
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