フォトマスク用ハンドリング治具 | 半導体製造用各種ハンドリングツール・装置| ナガセテクノエンジニアリング株式会社

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フォトマスク搬送ツール

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概要	マスクを水平に保持しフォトマスク（レチクル）の表面・裏面に接触することなく搬送できるツールです。各種容器に対応します。可動部品を最小限にしてあるため、パーティクルが発生しにくく、クリーニングが容易です。
特長	・水平グリップ型・常閉型・静電気対策品・材質：ESDポリプロピレン製・クリーンルームクラス1対応

概要	マスクの4点を保持しフォトマスク（レチクル）の表面・裏面に接触することなく搬送できるツールです。水平オフセット或いはクリアランスに制限のあるニコン製マスクケースへのロード・アンロードなどの用途向けです。
特長	・水平グリップ型・常時閉型・静電気対策品・材質：ESDポリプロピレン製・クリーンルームクラス1対応

概要	HMPシリーズは、マスクピックのグリッパをダメージや汚染から守り安全に収納できる卓上型収納ホルダです。
特長	・材質：電解研磨仕上げステンレス製・クリーンルームクラス1対応

概要	２つの容器間でレチクルを安全・確実に自動搬送する移載装置です。お客様の独自のカスタム仕様にも対応可能です。
特長	・シンプルな操作でケース間のレチクルを移載・操作はタッチインターフェース方式・独自の搬送モジュール・コンパクトな筐体・カスタム仕様に対応可能