WPR型自動ウエハ反転装置
資料請求・お問い合わせ概要 | ウエハの反転、表面検査、抜取に最適なプログラム式の自動ウエハプレゼンタです。 奇数、偶数、連続などのプロセスに応じプログラムが可能です。 運転モードは自動プログラムモード、手動モードから選択できます。 |
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特長 |
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対応ウエハサイズ(inch) |
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4, 6, 8 |
概要 | ウエハの反転、表面検査、抜取に最適なプログラム式の自動ウエハプレゼンタです。 奇数、偶数、連続などのプロセスに応じプログラムが可能です。 運転モードは自動プログラムモード、手動モードから選択できます。 |
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特長 |
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対応ウエハサイズ(inch) |
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4, 6, 8 |