現像液の再生効率を更に向上させ、再生現像液の品質安定も可能
使用済み現像液からレジストを除去して供給するシステム
DPFは、複数の現像装置から使用済み現像液を一括回収し、回収された現像液から溶解したレジスト成分を除去し、再生現像液として供給するシステムです。 特殊な分離膜によって、連続でレジスト除去が可能であり、現像液の再生効率向上と、再生現像液の品質安定が可能となります。
特長
特殊な分離膜によるレジスト成分の除去
連続ろ過による現像液の品質安定
現像液の再生効率大
現像液使用量の大幅削減
現像廃液量の大幅削減
