特長
取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。
オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
納入範囲（標準構成）
CP-16クライオポンプ
ヘリウム圧縮機（HC-8E4 or F-70L/H）
3Mフレキシブルガスホース
3Mコールドヘッドケーブル
ガスホース接続用レンチキット
標準仕様
| 項目 | MARATHON® CP-16LP CRYOPUMP |
| 窒素（L/s） | 4,800 |
| 水（L/s） | 17,300 |
| アルゴン（L/s） | 4,100 |
| 水素（L/s） | 12,000 |
| アルゴンスループット （Torr - L/s） |
11.4 |
| アルゴン排気容量（Std L） | 5,500 |
| 水素排気容量（Std L） | 50 |
| クロスオーバー（Torr - L） | 500 |
| クールダウンタイム（分） | 135 |
| ポンプユニット重量（kg） | 50 |
| H寸法（mm) | 633 |
| メンテナンスサイクル（時間） | 13,000 |
