特長
取付フランジは、ISO500, ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。
オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
納入範囲（標準構成）
CP-20クライオポンプ
ヘリウム圧縮機（F-70L/H）
3Mフレキシブルガスホース
3Mコールドヘッドケーブル
ガスホース接続用レンチキット
標準仕様
| 項目 | MARATHON® CP-20 CRYOPUMP |
| >窒素（L/s） | 9,700 |
| 水（L/s） | 29,100 |
| アルゴン（L/s） | 8,300 |
| 水素（L/s） | 14,000 |
| アルゴンスループット （Torr - L/s） |
11.3 |
| アルゴン排気容量（Std L） | 6,000 |
| 水素排気容量（Std L） | 33 |
| クロスオーバー（Torr - L） | 400 |
| クールダウンタイム（分） | 190 |
| ポンプユニット重量（kg） | 77 |
| H寸法（mm) | 569 |
| メンテナンスサイクル（時間） | 13,000 |
