MARATHON® CP-8LP CRYOPUMP
特長
取付フランジは、ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。
オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。
納入範囲(標準構成)
CP-8LPクライオポンプ
ヘリウム圧縮機(Zephyr®, HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H)
3Mフレキシブルガスホース
3Mコールドヘッドケーブル
ガスホース接続用レンチキット
標準仕様
項目 | MARATHON® CP-8LP CRYOPUMP |
窒素(L/s) | 1,800 |
水(L/s) | 4,200 |
アルゴン(L/s) | 1,500 |
水素(L/s) | 3,000 |
アルゴンスループット (Torr - L/s) |
11.0 |
アルゴン排気容量(Std L) | 1,600 |
水素排気容量(Std L) | 23 |
クロスオーバー(Torr - L) | 220 |
クールダウンタイム(分) | 110 |
ポンプユニット重量(kg) | 17.9 |
HxL寸法(mm) | 186 x 565 |
メンテナンスサイクル(時間) | 13,000 |