原理 | |
特長1: | マスクレスでの塗布を実現 |
特長2: | 吐出量を抑え、微細塗布を実現 |
特長3: | 高い材料使用効率 |
原理
特殊技術により液剤ロス低減を実現
技術1: 霧化旋回流エア
液剤を霧化し、旋回流エア(右旋回)で被塗布物へ塗布します。
技術2: 旋回流エア
ミスト状の液剤の周囲を、旋回流エア(左旋回)で包むことで、液剤の拡散を抑えます。
特長1:マスクレスでの塗布を実現
一般的には不可能なマスクレスのスプレーが可能です。エアー旋回流によりスプレーの塗布幅を1㎝以下に制御し、マスクレスで対象物にコーティングします。
特長2:吐出量を抑え、微細塗布を実現
液剤の吐出量を2~30mL/分に抑え、膜厚1~30μm(乾燥時)の均一な成膜を可能とします。また特殊なノズル構造により液滴寸法を最適化することも膜厚の制御に寄与しています。
特長3:高い材料使用効率
約80%もの高い液剤使用効率でのコーティングが可能です。材料ロスを低減するだけでなく、装置周囲の汚れも最小限に抑えることができます。液剤の拡散を抑えるエアーの壁(旋回流)により、スプレーされた液滴を拡散させずに対象物に付着させます。また霧化した液剤は逆向きに旋回しながら斜めに対象物へ付着する事により跳ね返りによる液剤のロスを低減する事が可能となります。
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