本システムは、温度制御が可能で、設置スペースをとらない小型のチラーシステムです。有機培地の灌水循環システムなど他のシステムとの併用も可能です。
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- ドライポンプ省電力化モジュール
- 脱臭装置 デオライザー
- 排水浄化装置 アクアブラスター
- 多機能高せん断真空ミキサー m-Highest V®
- 混濁液体用UV殺菌システム ASEPTORAY™
- オープンクリーンシステム KOACH
- 静電塗布装置 Micro Mist Coater
- ウエハ搬送ハンド用滑り止めパッド SurfCon®
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- 極低温冷凍機／クライオスタット
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- 表面欠陥検査装置 SCANTEC（外部サイト）
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