用語集 クライオポンプ

解説

気体分子を極低温面に凝縮させて捕捉する、気体ため込式真空ポンプ。真空中で20K以下に冷却した面をつくり、その表面に気体を凝縮、固化させて更に極低温の活生炭に水素、ヘリウム、ネオンを収着させため込み真空を作り出す

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