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冷媒ヘリウムの供給・排出を切り替える為のバルブディスクを駆動するバルブモーターとバルブモーターを固定するモーターベース、および冷媒ホースを接続するポートを備えたモーターハウジングから構成されている
クライオポンプ
極低温冷凍機
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