高性能なウエハハンドリング機器で生産効率向上を実現し、信頼性と精度に優れたソリューションを提供します。
収納
出荷
検査
オリフラ・ノッチ合わせ
洗浄
マニュアル搬送
移載
薄ウエハ
高温処理
非接触
ケースを開ける
コンタミ対策
省エネ
SCROLL
プロセス用ウエハケース
高温プロセス用ウエハケース
基板洗浄用 特注カセット
ウエハ出荷容器
ウエハジャー
ウエハインサート
ウエハ容器
リングセパレータ
コインスタイル型シングルウエハシッパー
クラムシェル型シングルウエハシッパー
プラスチック製 フレックスフレーム
メタル製フレックスフレーム
フレックスフレーム付き ウエハ出荷容器
フレックスフレーム付き ウエハ出荷容器 （マルチ）
フレックスフレーム付き ウエハ出荷容器 （スタック）
アルミ製 防湿・帯電防止袋
枚葉式手動ウエハリフター
自動ウエハエスカレーター
手動ウエハエスカレーター
ウエハ反転装置
真空ピンセット
メカニカル3点ピック
ウエハアライナー
基板洗浄用 特注PTFE/ 石英ビーカー
非接触型真空ピンセット
枚葉式 2カセットソーター
水平式 カセット間一括移載機
モバイル静電キャリア
水平式カセット間一括移載機
手動SMIF PODオープナー
手動FOUPオープナー
マスクピック
マスクピックホルダー
基板洗浄用 特注カセットフォトマスククリーニング用カセット
自動SMIF PODオープナー
オープンクリーンシステムKOACH
ドライポンプ省電力化モジュール
ウエハ型マルチセンサー
オリフラ･ノッチ合わせ
